斜入射光栅单色器采用斜入射式结构，利⽤平面光栅进行分光，具有较高的传输效率，同时对光谱脉冲宽度展宽较小，可以实现点到点的单色光成像。主要用于极紫外波段的光谱测量和分光实验。

真空紫外分光光度计是一种专门用于测量材料在10-200 nm波长范围内（即真空紫外区）的吸光度、反射率或透射率的精密分析仪器。它与普通紫外-可见分光光度计的核心区别就在于其真空密封的光路系统和适用于该波段的特殊光学元件。

超环面光栅单色器 是一种利用表面形状为超环面的衍射光栅，将宽波段、连续谱的入射光（如同步辐射光）在空间上进行色散，并从中选择出单一波长的单色光输出的精密光学装置。