在单色光成像中，常用的光源包括激光器，它们能够产生高纯度、高亮度的单色光。通过使用适当的光学系统和图像处理技术，可以对单色光进行精确的控制和处理，从而实现高质量的成像效果。

斜入射光栅单色器采用斜入射式结构，利⽤平面光栅进行分光，具有较高的传输效率，同时对光谱脉冲宽度展宽较小，可以实现点到点的单色光成像。主要用于极紫外波段的光谱测量和分光实验。

真空紫外分光光度计是一种专用于真空紫外波段的光谱分析仪器，通过高真空或惰性气体环境（避免氧气、水蒸气吸收干扰）实现深紫外光的精准测量。

采用像差校正超环面光栅进行衍射分光，可以在较宽光谱范围内保证高的光谱分辨和光通量。 通过选配不同的光栅型号，可以实现10-300nm范围的光谱覆盖。