真空紫外光谱仪依托Seya-Namioka精密光路结构，入射狭缝和CCD探测器均位于罗兰圆上，支持单色模式与光谱模式灵活切换，可满足多场景精密光谱分析需求。其中，NIM型真空紫外光谱仪，广泛应用于大科学装置、半导体极紫外光源与探测器研究、空间与防务等领域。
该光谱仪具备多重核心产品特点，适配专业分析场景：波长范围较宽，可覆盖多样检测需求；配备在线精密可调狭缝，保障检测精度；支持空间维聚焦扩展，适配复杂测试场景；可提供系统集成服务，贴合个性化应用需求；整体结构紧凑、集成度高，节省安装空间；同时具备高真空兼容性，适配特殊工况检测。
设备核心参数精准可控，支撑高效检测：光栅采用球面光栅，波长范围覆盖80nm~200nm；光谱分辨率在167nm处可达0.16nm，波长精度可根据实际需求定制设计；搭载科研级相机作为探测器，检测性能稳定；狭缝宽度支持0.01~3mm在线连续可调，进一步提升检测灵活性与精准度。
更新时间：2026-02-06
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