在真空紫外、极紫外光谱分析领域，宽谱与高精度探测需求推动设备迭代。超环面光栅单色器凭借像差校正技术与精简设计，成为宽谱分析核心装备，实现10-300nm稳定覆盖，兼顾高分辨与高光通量，为前沿领域精准分析提供支撑。
核心技术：铸就宽谱高精度分析能力
其核心竞争力源于像差校正超环面光栅的应用，以单一光学元件实现衍射分光，通过特殊曲面校正像差，在10-300nm宽谱内保障高分辨与高光通量。无需复杂补偿结构，简化布局且规避能量损耗，提升光学效率，适配探测需求。
宽谱适配性强化其核心地位，选配不同光栅可灵活覆盖10-300nm全波段，适配真空紫外、极紫外场景，满足多领域差异化宽谱探测需求。
关键参数：夯实核心装备性能基石
严苛参数为高性能保驾护航，围绕宽谱高精度需求优化，筑牢核心装备性能根基：
-波长范围10~300nm，可通过光栅选配实现全波段灵活适配；
-低像散特性配合像差校正，提升信号纯净度，保障宽谱分析精度；
-高真空兼容适配10⁻⁴Pa，支持10⁻⁷Pa超高真空定制，减少气体分子干扰；
-在线可调狭缝5μm~300μm连续可调，兼顾微量探测与宽谱扫描；
-单光学元件设计结构简单、效率高，降低维护成本，提升稳定性；
-远程激光瞄准快速定位测点，简化操作，提升宽谱分析效率；
-光谱分辨率0.1nm（37.93nm处），支持按需优化调整；
多元应用：核心装备赋能前沿领域
凭借宽谱、高精度、高稳定性优势，该设备深度赋能前沿领域。强场物理领域可捕捉条件光谱信号；半导体制造领域为芯片工艺优化、材料表征提供精准数据，保障良率。
在计量级标定领域，可精准标定紫外、极紫外探测器及光源；在极紫外反射率研究领域，为光学元件研发提供关键数据支撑。
综上，该设备以像差校正技术为核心，适配宽谱分析核心需求，是科研与工业质控的关键装备，推动宽谱光谱技术向更高精度、更高效方向迈进。
更新时间：2026-01-26
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