极紫外光谱仪作为一款具备高性能的科研检测设备，凭借其先进的光学设计与全面的技术特性，在多个科研及工业领域中发挥着关键作用。设备核心采用全息凹球面变线距光栅进行分光，自带平场特性，可便捷搭配面阵CCD完成光谱记录，操作便捷且数据采集高效。同时，光栅采用掠入射模式工作，大幅提升衍射效率，保障光谱检测的精准度；通过选配不同型号的光栅，更能实现0.6~200nm波长范围的全面覆盖，适配多样化的检测需求。
在应用场景方面，该平场光谱仪的适配范围广泛，可深度服务于强场与高密度物理研究、半导体与集成电路制造及探测器研发、光源计量级标定等关键领域，既能满足科研实验中的高精度检测需求，也能适配工业生产中的标准化标定工作，为各领域的技术研发与质量管控提供可靠的光谱数据支撑。
设备的主要参数亮点突出，全面保障检测性能与适配性：光栅类型选用凹球面变线距光栅，为精准分光奠定核心基础；波长范围可在0.6~200nm之间灵活选配，覆盖极紫外波段关键区间；光谱分辨率可达0.015nm 13.5nm，且支持根据实际需求进行优化调整，精准捕捉细微光谱差异；搭载科研级相机作为探测器，确保数据采集的清晰度与可靠性。
此外，设备还具备多项实用化设计：支持前置收光功能选配，可根据检测场景灵活调整；配备远程激光快速瞄准定位功能，提升操作效率，降低定位误差；兼容高真空环境，可在5×10⁻³Pa的真空条件下稳定运行，适配特殊检测场景需求；搭载5μm~300μm在线连续可调狭缝，可根据检测需求精准调节进光量，进一步保障光谱检测的精准度与灵活性。
综合来看，极紫外光谱仪以先进的光学构造、宽广的波长覆盖范围、超高的检测精度及丰富的实用功能，成为科研与工业领域中具性价比的光谱检测设备，为各领域的技术突破与质量提升提供强有力的设备支持。
更新时间：2025-12-27
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