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⼤连相⼲光源DCLS极紫外光束传输系统

发布时间：2024/11/18 11:00:39

极紫外光束传输系统是?连相?光源（DCLS）光源技术的关键系统之?，主要?于将在真空中产?且不能在空 ?中传输的极紫外光束?效地传输到实验研究?作站。 创谱仪器承接并完成了该光束传输系统的光学设计、 ?程设计 、 在线安装与集成测试?作，带光调试结果符合 预期指标要求，已顺利交付并投?使?。